臺式ICP光譜儀的部分組成，光源系統(tǒng):空心陰極燈。原子化系統(tǒng):火焰原子化器，石墨爐原子化器或氫化物發(fā)生器。分光系統(tǒng)：單色器。檢測系統(tǒng)：光電倍增管等。能輻射出半寬度比吸收線半寬度還窄的譜線，并且發(fā)射線的中心頻率應(yīng)與吸收線的中心頻率相同。輻射的強(qiáng)度應(yīng)足夠。輻射光的強(qiáng)度要穩(wěn)定，且背景。空心陰極燈則可滿足原子吸收上述三點(diǎn)要求，它是利用空心陰極效應(yīng)而制成的一種特殊輝光放點(diǎn)管。空心陰極燈發(fā)光機(jī)理，空心陰極燈為直流供電，當(dāng)在正負(fù)電極上施加適當(dāng)電壓（一般為300～500伏）時，在正負(fù)電極之間便開始放電，這時，電子從陰極內(nèi)壁射出，經(jīng)電場加速后向陽極運(yùn)動。電子在由陰極射向陽極過程中與載氣（惰性氣體）原子碰撞使其電離成為陽離子，帶正電荷的惰性氣體離子在電場加速下，以很快的速度轟擊陰極表面，使陰極內(nèi)壁的待測元素的原子濺射出來，與其它粒子相互碰撞而被激發(fā)，處于激發(fā)態(tài)的原子很不穩(wěn)定，多會自動回到基態(tài)，同時釋放能量，發(fā)出共振發(fā)射線。

    火焰原子化器，火焰原子化法是利用氣體燃燒形成的火焰來進(jìn)行原子化的，實(shí)際上就是一個噴霧燃燒器，由三部分組成，即噴霧器，噴霧器:將試樣溶液轉(zhuǎn)為霧狀。霧化室：內(nèi)裝撞擊球和擾流器（去除霧滴并使氣溶膠均勻）燃燒器：產(chǎn)生火焰并使試樣蒸發(fā)和原子化。