光譜儀開機前檢查，維護和保養是保持光譜分析儀性能良好和硬件完好的關鍵。測定前操作者必須做好合理的安排，實現安排好各項準備工作，切忌在同一段時間里對光譜分析儀主機開開停停，儀器頻繁開啟容易造成損壞，這是因為儀器在每次開啟的時候，瞬間電流高于運行正常時的電流，瞬間的脈沖沖擊，容易造成功率管燈絲斷絲，碰極短路及過早老化等，用量能否連續工作，一般氬氣的儲量至少一個滿瓶以上才可以開機，檢查氬氣凈化機工作狀態是否正常，如果不正常或者不能工作，馬上更換高純度氬（99.999%）；然后先開啟氬氣凈化機，打開氬氣，檢查儀器氣體系統工作是否正常，將氬氣出口壓力調在（0.45~0.6）MPA之間。
　　檢查循環水機的連接管路是否有泄漏，檢查循環水機的電源連接是否正常，檢查循環水機內循環液的液面是否在線上；在正常情況下，推薦半年更換循環液。循環水機的出水壓力應為（0.31！0.55）MPa。有的水平（軸向）觀測光譜分析儀需要用空壓機切割尾焰，還要檢查壓縮機的工作狀態氣壓是否在0.6MPa，檢查完畢狀態正常后開啟循環冷卻水和空氣壓縮機，打開穩壓電源，檢查穩壓電源是否欠壓工作，如果電壓正常在1min后打開主電源開關，否則要等穩壓電源穩定在打開光譜分析儀主機電源；如果打開主機電源后出現指示燈不亮和接觸器不吸合等現象，可檢查機內電源箱側面1A和的熔絲是否燒壞；打開主機電源后光學恒溫系統（FPA）開始升溫，新型號光譜分析儀的預熱時間一般在30min左右就可以達到恒溫狀態，老型號的儀器約需要（2~3）h。然后依次打開計算機主機、顯示器和打印機，進入操作系統，打開循環水開關；如果選擇波長為190nm以下的譜線，還需要打開多色器對檢測器進行吹掃。特別注意，先打開氬氣，再打開穩壓電源，后打開主機電源，順序千萬不能顛倒。