三層潔凈室CMP房間，一個(gè)需要高精度和無(wú)塵環(huán)境的實(shí)驗(yàn)室空間，如何打造？從設(shè)計(jì)到施工，帶你走進(jìn)潔凈世界。

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潔凈室設(shè)計(jì)   CMP工藝   半導(dǎo)體制造